上海理想万里晖薄膜设备有限公司

产品与技术

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单腔室PECVD PINE-M-R-5

适用领域：高效异质结（SHJ）太阳电池、TOPCon太阳电池等集成电路工艺等领域

反应腔与量产装备反应腔完全一致，无需再开发量产工艺，研发工艺可直接用于量产装备大规模生产

先进的等离子体系统：等离子体快速稳定（稳定时间~0.1秒），RF频率可选13.56MHz和40.68MHz

先进的“双真空”设计

理想万里晖薄膜设备有限公司的工艺实验室坐落于中国（上海）自由贸易试验区临港新片区，致力于PECVD的设备升级和工艺提升，具有SHJ太阳能电池片生产的完整实验线和整套工艺方案，可为客户提供的技术交流、DEMO及产业化推广等服务。

工艺实验室拥有的配套设备及仪器如下：

1、 R&D PECVD设备（理想万里晖）；

2、硅片制绒清洗设备（YAC）；

3、磁控溅射ITO PVD设备（冯.阿登纳）；

4、丝网印刷设备（Micro Tech）；

5、 I-V测试平台（伟信）；

6、膜厚测试平台（Semilab）；

7、分光光度计（岛津）；

8、 Sinton少子寿命测试仪；

图1 理想万里晖实验室的制绒清洗设备

图3 理想万里晖实验室的PVD设备

图2 理想万里晖实验室的PECVD设备

图4 理想万里晖实验室的丝网印刷设备