产品与技术
反应腔与量产装备反应腔完全一致,无需再开发量产工艺,研发工艺可直接用于量产装备大规模生产
先进的等离子体系统:等离子体快速稳定(稳定时间~0.1秒),RF频率可选13.56MHz和40.68MHz
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