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SHJ生产OAK-DU-5 PLUS

装备系统特点:

  首创在线式多层反应腔双真空系统,可兼容M6硅片
 

  等离子体快速稳定(稳定时间~0.1秒),RF频率可选13.56MHz和40.68MHz

  整个CVD工艺过程处于超洁净环境,无交叉污染

  从晶舟至晶舟全自动化生产,无皮带电池片传输

  优化的工艺及在线式托盘清洗,最大限度提高设备产能

  配备等离子体自清洗系统,保持反应腔洁净,无需开腔体维护,增加正常运行时间

  反应腔体体积小,节省工艺气体的消耗量(仅为传统的~1/8)

 

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