  首创在线式多层反应腔双真空系统，占地面积不变，产能翻倍
 

  等离子体快速稳定（稳定时间~0.1秒），RF频率可选13.56MHz和40.68MHz

  整个CVD工艺过程处于超洁净环境，无交叉污染

  从晶舟至晶舟全自动化生产，无皮带电池片传输

  优化的工艺及在线式托盘清洗，最大限度提高设备产能

  配备等离子体自清洗系统，保持反应腔洁净，无需开腔体维护，增加正常运行时间

  反应腔体体积小，节省工艺气体的消耗量（仅为传统的～1/8）