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高效率太阳能电池生产设备和技术

异质结电池(SHJ)用PECVD系列产品

•  产能:500MW/年
 

  全自动 无污染 高产能 在线式 

•  一个量产单元,完成I/N/I/P四层非晶硅工艺
•  产能:3500片/小时(M2-M6)
 

  全自动 无污染 高产能 在线式 

•  一个量产单元,完成I/N/I/P四层非晶硅工艺
•  产能:3000片/小时(M2-M4)
 

  全自动 无污染 高产能 在线式 

•  一个量产单元,完成I/N/I/P四层非晶硅工艺
•  产能:1500片/小时(M2-M4)
 

装备系统特点与最新进展:

  快速提升量产:  反应腔与量产装备反应腔完全一致,无需再开发量产工艺,研发工艺可直接用于量产装备大规模生产

   先进的“双真空”反应腔设计

   先进的等离子体系统:等离子体快速稳定(稳定时间~0.3秒),RF频率可选13.56MHz和40.68MHz

   2019-2020年,高效SHJ电池专用PECVD装备订单高速增长,新增4家客户,其中包含三家彭博第一梯队的客户

   客户SHJ(异质结)电池(M2)最高效率:25.11%(欧洲ISFH认证)
   平均量产效率24%

客户光伏SHJ电池(M2)最高效率:25.11%(ISFH 认证)

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