•  产能：1000MW/年
 

•  全自动 无污染 高产能 在线式 

•  一个量产单元，完成I/N/I/P四层非晶硅工艺
•  产能：5200片/小时（M2-M12）
 

•  全自动 无污染 高产能 在线式 

•  一个量产单元，完成I/N/I/P四层非晶硅工艺
•  产能：3000片/小时（M2-M4）
 

•  全自动 无污染 高产能 在线式 

•  一个量产单元，完成I/N/I/P四层非晶硅工艺
•  产能：1500片/小时（M2-M4）
 

  快速提升量产:  反应腔与量产装备反应腔完全一致，无需再开发量产工艺，研发工艺可直接用于量产装备大规模生产

   先进的“双真空”反应腔设计

   先进的等离子体系统：等离子体快速稳定（稳定时间~0.3秒），RF频率可选13.56MHz和40.68MHz

   公司累计获得异质结客户12家，通过验收客户9家，量产设备性能稳定、重复、可靠

   客户SHJ（异质结）电池（M6）最高效率：26.30%（欧洲ISFH认证）
   平均量产效率24.5%