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作者:本站编辑 发布时间: 2013-03-27 来源:本站
自今年01月交付于客户使用的单腔室PECVD研发设备,设备运行稳定,并突破非晶/微晶硅基薄膜双结电池最高转换效率12.59%的成绩。
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